Für die Materialanalyse steht neben einem EDS-System zur energiedispersiven Elementanalyse auch eine EBSD-Einrichtung zur Bestimmung der lokalen Kristallorientierung zur Verfügung. In Fällen, die besonders hohe Auflösung verlangen, kann auch auf ein analytisches Transmissionselektronenmikroskop zurückgegriffen werden. Die folgenden Abbildungen zeigen Beispiele, in denen die Elektronenmikroskopie bei der Untersuchung von Schadenfällen eingesetzt wurde.
